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洁净室综合性能检测方法与测试设备

更新时间:2017-01-09      点击次数:2156
1、对于安装在送风系统末端的过滤器,应用扫描法进行过滤器安装边框和全断面检漏。扫描法有检漏仪法(光度计法)和采样量zui小为1L/min的粒子计数器法两种。对于超过滤器,扫描法有凝结核定计数器法和激光粒子计数器法两种。 

  2、检漏仪法检漏 

  (1)被检漏过滤器必须已测过风量,在设计风速的80%~120%之间进行。 

  (2)在同一送风面上安有多台过滤器时,在结构上允许的情况下,宜用每次只暴露1台过滤器的方法进行测定。 

  (3)当几台或全部过滤器必须同时暴露在气溶胶中时,为了对所有过滤器造成均匀混合,宜在风机吸入端或这些过滤器前方支干管中引入检漏用气溶胶,立即在受检测过滤器的正前方测定上风侧浓度。 

  (4)对于过滤器,当检测仪表对数刻度时,上风侧气溶胶应超过仪表zui小刻度的104倍;当检漏仪表为线性刻度时,上风侧气溶胶浓度需达到80~100ug/L。检漏仪表应具有0.001~100ug/L的测量范围。 

  3、粒子计数器法检漏 

  (1)被检过滤器已测过风量,在设计风速的80%~120%之间运行。 

  (2)在被检过滤器上风侧测定大气尘的微粒数,以大于或等于0.5um微粒为准,其浓度必须大于或等于3.5*104粒/L;若检测超过滤器,则以大于或等于0.1um微粒为准,其浓度必须大于或等于3.5*106~3.5 *107粒/L。 

  4、检漏时将采样口放在距离被检过滤器表面2~3cm处,以5~20mm/s的速度移动,对被检过滤器整个断面、封头胶和安装框架处进行扫描。