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激光震荡衰减水分仪给检测带来便利

更新时间:2022-03-21      点击次数:1033
   激光震荡衰减水分仪在许多领域都非常重要,例如光谱学,化学分析、医疗诊断、环境监测和工业生产中的污染物控制等。在过去二十年间,随着半导体产业的进步,半导体生产所用的气体中允许的不纯度减少了四个数量级。
  
  该仪器在性能上做了重大改革,摒弃了传统仪器操作费时费力、人工因素影响大等缺点,适用于各个行业以及实验室的需求,在使用中更便利。一般来说,水分仪测量一般样品只需几分钟,检测结果准确,且检测效率远远高于烘箱法,避免了因为人工因素对测量结果产生的误差。除此之外,水分仪还具有测量水分范围宽、精度高、显示清晰、测量迅速、性能稳定、指标可靠等优点,可随身携带在现场快速检测。
  
  超高纯度气体对于半导体集成电路中所要求得越来越小的几何特点具有极其重要的作用。特别是已经证实了的,气体中只要有十亿分之几(ppb)的水分就可在硅片上导致瑕疵。所以半导体制造商要求气体供应商清楚地保证水分不能大于1-10ppb,今后会要求更低的水平。
  
  半导体产业对高纯度气体的需求对气体供应商和分析仪器制造商提出了巨大挑战。微量水分的监测不仅用于大用量气体,例如氮气、氧气、氢气、氦气和氩气,而且还要监测特殊气体,例如HCl,HBr,BF3,AsH3,CF4和许多其他气体。这些气体往往是高腐蚀性、易反应和有毒的。
  
  激光震荡衰减水分仪是少数能达到上述要求的一种基于激光的光谱技术。基于光腔衰荡光谱(CRDS)原理的仪器,MTO-1000-H2O,可以准确、快速地检测普通气体中200ppt的水分,此仪器还可用于腐蚀性和有毒气体。