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半导体超纯水制备安特蓝德UV系统绿色处理解决方案

更新时间:2026-06-11      点击次数:86
  芯片制造,水为命脉。一颗指甲盖大小的芯片,从晶圆清洗到蚀刻抛光,每道工序都离不开电阻率高达十八兆欧厘米以上的超纯水。而水中残存的微量有机物、微生物和氯胺,哪怕低至ppb级别,都足以让整批晶圆报废。安特蓝德HOD紫外线系统,正是为解决这一命门而生的绿色利器。
  安特蓝德来自以色列,其核心HOD水光学消毒技术融合了中压紫外线、光纤原理与水力学设计,在石英消毒室内实现全内反射,让紫外线光子反复折射、均匀覆盖每一滴水,灭活微生物的同时大幅降低能耗。相比传统低压紫外系统,中压灯功率更强、灯管更少,维护成本显著下降,且不受水温影响,冷水温水中均可高效运行。
  在半导体超纯水制备的终端环节,安特蓝德UV系统承担四大核心任务:微生物灭菌、去除总有机碳、破解臭氧、脱除氯和氯胺。系统无需任何化学药剂,纯物理方式即可完成全部处理,契合半导体行业对零化学污染的要求。配合实时双传感器监控与智能软件控制,系统可根据水质波动自动调节灯管功率,在保证灭菌剂量的前提下将功耗压至低。
  更值得关注的是,安特蓝德已深度参与中国国家重点研发计划,与清华大学、中国电子工程设计院联合攻关先进制程芯片用超纯水TOC降解关键技术,致力于突破该领域长期被欧美日垄断的技术瓶颈。目前其在华安装设备已超千台,广泛服务于半导体、光伏、制药等制造领域,以物理净水之道,守护中国芯片产业的用水纯度。